二手 AIXTRON Crius I #293661393 待售
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AIXTRON Crius I是一種沈積反應器，設計用於薄膜塗層的高通量加工。它具有一個大型反應室，可處理多達35 cm^2晶圓，並提供高達1500 °C的大操作範圍。Crius I包含一系列高級功能,可精確控制沈積過程。具有高效的氣流設備和較低的背景壓力，可提高沈積質量。此外，它還設有一個車載氣體制備裝置，以便於使用反應性氣體混合物。該系統還包括AIXTRON獨一無二的AutoFeedTM自動晶片處理單元，可用於在不打開反應堆門的情況下自動將多達二十個晶片送入腔室。AIXTRON Crius I的反應室配備了先進的元件控制器，提供對溫度、微壓、氣流和射頻功率的精確控制。它還具有高效、直接加熱、陶瓷塗層、熱墻感應器設計。這使得熱壁的快速響應能夠在高溫下有效的沈積生長。此外，Crius I包括一個水平淋浴頭，確保在整個晶片表面均勻沈積。AIXTRON Crius I有多種配置,在腔室大小、工藝溫度和基板處理方面各不相同。該機還被設計為與多種材料兼容。這使得它適合於廣泛的薄膜沈積過程，包括氧化物、氮化物和矽的沈積。此外，強大的控制工具及其集成的安全功能確保了安全可靠的操作和過程可重復性。總體而言,Crius I是一個強大的沈積反應器,它提供了許多先進的特性和強大的沈積過程控制-所有這些都使其成為高通量薄膜沈積應用的理想解決方案。
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