二手 AIXTRON Crius I #9065474 待售

AIXTRON Crius I是一種先進、高效、水平配置的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，用於生產大面積、復合半導體材料層，用於光電、微電子和電力電子應用。Crius I具有強大的加工技術，其基礎是利用加熱的前體從多種化合物中產生高質量的層。高效的前體交付和交付均勻性，結合過程控制，實現了卓越的層質量和可重復性。AIXTRON Crius I采用激光燒蝕工藝清洗預先塗層的目標材料，並采用旋轉葉片閥進行基板運輸，確保反應堆內無環境轉移。在高達1000 °C的高溫下，Crius I能夠產生具有先進材料特性和設備特性的層。AIXTRON Crius I利用高精度卡盤支撐基板，確保沈積過程中晶片粘附均勻一致，與其他沈積方法相比，具有更高的沈積速率和更好的層性能。其閉環氣流、閉環壓力和溫度控制，以及計算機化沈積控制系統，實現了可重復、高效的工藝重復性和堅固的晶片/基板性能。它還配備了先進的前體輸送系統，利用熱波精確釋放和沈積前體，在整個沈積過程中具有極高的材料均勻性。Crius I是快速、精確地制造各種2D和3D半導體結構和器件的理想工具。其精密的工藝監測和控制系統促進了新材料和設備結構的開發，這些材料和設備結構具有廣泛的電子和光電子學的卓越性能，為制造下一代半導體材料和設備提供了完整的解決方案。