二手 AIXTRON Crius I #9065475 待售

AIXTRON Crius I是一個商業規模，感應耦合等離子體（ICP）反應堆。該反應堆在底物均勻性和高蝕刻速率方面提供了一流的性能，是提高生產規模的理想選擇。其緊湊的占地面積和較低的總擁有成本使其能夠高度配置,以滿足一系列特定於應用程序的需求。Crius我有一個簡單的模塊化結構。圓柱形腔室和端環由不銹鋼制成，並具有水冷套，可實現高達1000 °C的穩定運行溫度。基板支架由石墨制成，面積平坦，可容納直徑不超過100毫米的大型基板。射頻發生器為反應堆的感應線圈提供動力，以產生必要的ICP等離子體，並連接到控制器，以確保對等離子體參數的精確控制。AIXTRON Crius I采用高速數字技術實現高度均勻的等離子體沈積。其先進的Showerhead RF Bias Control允許將各種物種均勻沈積到基質上以獲得最佳工藝。它還具有高速端環射頻偏置控制，以確保金屬種類在腔壁上的均勻分布，從而提高蝕刻均勻性。Crius I還提供了廣泛的安全功能,例如阻止火焰傳播到其他組件的火焰避雷器,以及集成的火花檢測和控制單元。它有一個簡單而可靠的結構，設計成在高溫下長期連續運行，非常適合高產、大批量運行。總體而言，AIXTRON Crius I是一個先進的、商業規模的ICP反應堆，提供無與倫比的性能、緊湊的占地面積和較低的總擁有成本。它是在大批量應用中提高生產規模和提高產量的理想選擇。