二手 AIXTRON Crius I #9188566 待售

AIXTRON Crius I是一種先進的外延反應堆，設計用於半導體和光電器件的開發和制造。該反應堆采用了AIXTRON旗艦金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）技術，該技術已經精煉了二十多年。Crius I是一種單晶片、批處理工具,專為高吞吐量和易於擴展而設計。AIXTRON Crius I是一個垂直的多管反應堆，最大管子轉速為12,000rpm，有一個十四位卡式裝卸站。反應室裝有13°斜角的AIXTRON簽名低振動梁（SLV Beam）。這為正在加工的晶片提供了均勻、精細的表面光潔度，從而顯著降低了盤狀晶片邊緣。此外,Crius I還配備了一個熱墻感應器,能夠在高達1100°C的溫度下運行,具有出色的控制和精度。AIXTRON Crius I是一個可擴展的系統，能夠廣泛的加工化學和摻雜氣體化學。它能夠適應低容量和大容量生產,並提供獨立和群集配置。FlexMode允許客戶在兩個程序之間快速修改刀具反應堆腔室參數，對工藝配方進行中間更改，而無需進行冗長的幹預。Crius I使用專有的過程控制軟件（Turbo SoftTune），實現簡化的菜單驅動操作。Intelligent Adaptive Control （IAC）通過主動參數檢測和修改進一步提高了這一點,旨在磨練給定應用程序的正確操作參數。它也可以重新安裝AIXTRON爐技術，允許晶體生長和器件制造的垂直整合。綜上所述，AIXTRON Crius I外延反應堆是開發制造半導體和光電器件的先進資源。它提供了高吞吐量、低振動梁和熱壁磁感器技術,為精細的工藝提供了復雜的控制。先進的過程控制系統、可擴展的體系結構和靈活的操作模式使其成為可靠的家族資源。