二手 AIXTRON Crius II-XL GaN 19x4" #9358604 待售

AIXTRON Crius II-XL GaN 19x4是一種革命性的反應堆技術，專門設計用於促進GaN-on-silicon結構的高效生長。這座反應堆展示了當前一代AIXTRON Crius系統的最新進展。它安裝在一個19 x 4英寸的面板中,帶有15kW燈。它提供了一個高壓數據系統，並使用氙氣微波感應耦合等離子體，它能夠產生高達4200W的功率。這款大功率的Crius II-XL還允許晶圓的有效間隙幾何形狀為1-5mm,最大尺寸為200 mmx200mm。反應堆裝有一個由鉑制（Pt）制成的高科技電控感光器，以確保在整個感光器表面均勻均勻的溫度分布。該敏感器設計用於一次最多支持六個生長晶片，並安裝在高度精確的AIXTRON Crius溫度控制模塊上。這樣可確保將感光器的溫度精確調節在50至600°C之間,最小溫度偏差可達± 1°C。反應堆還包括標準工作頻率為13.56MHz的最先進的射頻發生器和脈沖運行模式，脈沖速率為0.2至1Hz，脈沖寬度為5至60%。這臺射頻發電機的13.56 MHz頻率是由200V源推導而來，產生超過100W的整體功率輸出。這確保了最大質量沈積的最佳操作條件。AIXTRON CRIUS II-XL GaN 19x4是一種高效、可靠的反應堆,可確保最大的運行效率,同時利用大量可用的工藝參數選項。這種反應器具有多種功能，對於需要高性能工藝的應用，如GaN-on-silicon晶片的生長，是一個很好的解決方案。因此,這項技術在成本、效率和可靠性方面具有相當大的優勢。