二手 AIXTRON Crius II #293607523 待售

製造商
AIXTRON
模型
Crius II
ID: 293607523
優質的: 2010
MOCVD System Chamber, 2" Source: TMGa-1, TMGa-3, TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, (7) TMAl-1 (4) Wires with groung wiring ARGUS Temperature monitor Hydride lines: NH3-1 / NH3-2 / SiH4 GaN Gouve (2) RAUDA RE235 Baths (4) NOAH Precision baths HORIBA MFC Type AFFINITY Chiller Power supply: 208 / 120 V AC, 3-Phase Heater voltage: 380 V AC, 3-Phase Does not include (2) Scroll pumps 2010 vintage.
AIXTRON Crius II是AIXTRON公司的反應堆,專門為研發先進半導體和LED而設計。Crius II是三個模組的序列--雙基底MOCVD、單晶圓淋浴頭和Gleeble Simulator,讓使用者能夠對其生長和沈積方法做出準確的測量。雙基體MOCVD反應器是一種允許使用者利用分子束外延(MBE)和金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)的設備。該系統采用可編程閥門和一系列真空泵,以創造更高的增長率,降低成本並提高效率。該反應堆能夠以三種方式進行外延生長:MBE、MOCVD和高壓壓輔助外延生長。反應堆也可配置最多八個單層、多層和3D結構的源。Single Wafer Showerhead允許用戶在晶圓級別沈積高質量的材料層,在wi40afer更新和基板更改之間至少有一段停機時間。獲得專利的旋轉圓盤允許整個晶片均勻沈積,無需人工幹預。Gleeble Simulator還為用戶提供了模擬溫度曲線和熱過程的能力,並增加了自動關閉異常過程的好處。該模擬器配備了一個壓力單元,用戶可以控制處理氣氛和監測機器內的事件。AIXTRON Crius II平臺是開發先進半導體和LED的多功能強大工具。它已成為半導體行業內的標準工具,被廣泛的研究、開發和生產應用中使用。反應堆可靠、成本效益高,為用戶提供了高度的靈活性。
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