二手 AIXTRON Crius II #293636257 待售

AIXTRON Crius II是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在滿足薄膜技術產業的需求。它是為無定形和結晶材料的沈積而建造的，目標是生產半導體、光學和顯示材料。反應堆具有均勻的沈積過程，使復雜材料的多源沈積達到200毫米晶圓。這種AIXTRON Crius反應堆模型利用AIXTRON專利的非視線沈積技術，利用獨立優化的獨立熱場。這提供了整個基板表面的精確溫度均勻性，允許更精確的沈積過程。最重要的是，該反應堆采用了優越的氣體混合設計，能夠對最終的薄膜厚度進行先進的工藝控制和更高的控制。該反應堆具有多種硬件特性，可提高底物處理能力和生產率。這包括晶圓升降機、晶圓冷卻和氣體預熱、插入和移除以及自動壓力控制。極短的熱循環時間提供了快速的過程預熱和冷卻時間。Crius II還擁有可靠、高效的長期運營,運營和維護成本較低。此外,AIXTRON Crius II還具有一系列過程和生產率監控功能。這包括一個高分辨率的端點控制閥，一個視覺顯示單元，一個晶圓邊緣和邊緣溫度監視器，以及一個實時晶圓溫度監視器。這些有助於確保快速高效的過程,同時在每次運行過程中產生一致的結果。所有這些功能使Crius II成為薄層技術公司的理想解決方案。它可以精確處理復雜的半導體、光學和顯示材料，從而產生更高的薄膜質量和基材產率。AIXTRON Crius II的快速熱循環時間和可靠的操作使它在競爭中占據優勢,使其成為任何生產方案的絕佳選擇。