二手 AIXTRON Crius II #293659969 待售
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ID: 293659969
晶圓大小: 2"-6"
優質的: 2010
System, 2"-6"
EDWARDS IXH645H
AFFINITY EWE-08CH-ED44CBD0
Missing parts:
MKS Pressure
THERMO LAUDA RM6S bath
(2) THERMO LAUDA RM25S baths
LAUDA WKL 230/E Chiller
PTS0310 Scroll pump
2010 vintage.
AIXTRON Crius II是一個水平、單晶片批處理反應堆，最大沈積面積可達300 mm。專為大批量制造而設計,可提供高吞吐量、均勻性和反應性材料利用率。Crius II最多使用三個氣源，根據應用情況，使用兩個高能粒子（電子或離子）來源來生長III-V材料。該設備設計用於過程穩定性，具有集成的揮發性氣體分布控制、自動氣體分析以及用於原位溫度控制的光學高溫計。它有一個用於反應性氣體供應的密封室，有一個用於等離子體控制的標準感應耦合等離子體（ICP）源。AIXTRON Crius II利用等離子體蒸氣沈積（PVD）工藝,以及可選的混合PECVD工藝,用於更廣泛的應用。該系統具有一個流動控制單元，用於輸送反應性氣體以及在工藝室內進行真空控制。這提供了更高的精度和反應物和雜質水平的控制，以及更好的溫度均勻性。預測模型在過程的所有階段都提供配方控制。集成測量氣體分析機可以在每個步驟主動控制過程參數。反應堆最多可處理三個高能粒子來源（電子或離子），並提供機會利用它們在不同應用中的協同作用。該工具配備了先進的安全功能，包括集成氣體和真空泄漏檢測以及三層安全互鎖。Crius II專為工業化而設計,提供大批量、快速的工藝穩定性和均勻性。適用於生產優質、低成本的半導體和光子產品。AIXTRON Crius II以其高效、優化的工藝控制和自動化，是生產光電和納米光子器件的絕佳選擇。
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