二手 AIXTRON Crius II #293660321 待售
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ID: 293660321
晶圓大小: 2"-6"
優質的: 2011
System, 2"-6"
AFFINITY EWE-08CH-ED44CBD0
EDWARDS IXH645H
Missing parts:
MKS Pressure
THERMO LAUDA RM6S bath
THERMO LAUDA RM25S bath
LAUDA WKL 230/E Chiller
HORIBA MFC 100 SLM
2011 vintage.
AIXTRON Crius II是一種臺式、非分子束外延（MBE）反應器，設計用於沈積III類氮化物薄膜。它能夠生產這些材料的高質量薄膜，用於異質結應用，如藍光發光二極管（LED）和激光二極管（LD）。Crius II支持金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）和分子束外延（MBE）。反應堆的爐子部分能夠提供高達1250 °C的溫度。反應器的設計保證了整個外延生長室的均勻條件。AIXTRON Crius II配備了多種功能，以支持易於使用和穩定沈積。它配備了多種加熱技術（感應、直接和RTA）和冷卻系統，以保持溫度均勻性。有氣體輸送設備供應C2H4、NH3和A流，流量可達80 sccm。還有一種石墨絲支持任何材料的熱蒸發，以及另一種用於InGaAs的熱蒸發（如果需要）。Crius II有一個鎖載真空系統，可以將生長室從鎖載室疏散到低壓。鎖載室還設有耐磨窗口，以保護鎖載室免受生長室高溫的影響。反應堆還設有渦輪分子泵，支持高達10-8 torr的高真空運行。反應堆的自動化軟件一次最多可支持20個單獨編程的沈積參數。這使得AIXTRON Crius II成為MBE和MOCVD沈積的高度通用和可靠的單元。此外，原位He壓力和熱剖面儀測量沈積層的質量。總之，Crius II是一種先進的臺式MBE/MOCVD反應堆，能夠為III類氮化物薄膜在廣泛應用中的生長提供統一條件。反應堆配備了幾個使沈積更容易使用和提高質量的特點，如自動化軟件、多個熱源以及嚴密的真空控制。這使得它成為一個理想的設備，以沈積在藍色LED和激光二極管有用的高質量薄膜。
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