二手 AIXTRON Crius II #293823200 待售

AIXTRON Crius II Industrial MOCVD Reactor是一種可靠、尖端的沈積工具，設計用於先進的外延生長，非常適合復合半導體材料的制造。這種模塊化的金屬有機物-化學-氣相沈積（MOCVD）設備由於其更新的設計和一系列功能,提供了無與倫比的性能、可靠性和工藝一致性。Crius II反應堆擁有2 x 2x2英寸的最大晶圓尺寸容量、石英室的自動預處理（APC）以及精確的工藝監測。它具有一系列先進的工藝控制特點，包括開環用戶定義的預處理器，對氣體前體分布的閉環主動控制，以及對反應堆室內的壓力、溫度和臭氧（O3）混合物的主動監測。該系統還提供了可選的增強設備均勻性（EDUF）模式，以幫助優化前體分布和提高基板上的均勻性。AIXTRON Crius II反應堆利用定制的AIXTRON排氣單元，以盡可能小的足跡產生更高的排氣流量。另外，高分辨率光學高溫計有助於測量反應室溫度到攝氏十分之一度以內。這有助於為一致的流程性能提供高度可重復的環境。Crius II反應堆非常適合於多種生產工藝，如金屬有機CVD、沈積矽的和其他化合物半導體材料，以及LED晶片的生產。即使在連續生產中使用,它也是針對質量和性能恒定的最高晶圓吞吐量進行優化的。在其強大的設計背後，AIXTRON Crius II反應堆還擁有一個操作員友好的圖形用戶界面，具有幾個用戶友好的選項和功能。總之，Crius II是一種可靠、尖端的工業MOCVD反應器，設計用於復合半導體材料的最大外延生長，具有無與倫比的工藝控制和性能。對於任何需要可靠的生產平臺並提供多種選擇的設備,本機都是理想的選擇。