二手 AIXTRON Crius II #9270073 待售

AIXTRON Crius II是一種最先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器，將先進的工藝技術與卓越的質量、成本效益和多用戶操作相結合。該設備具有易於使用的GUI，允許經驗豐富的用戶配置反應堆參數以獲得最佳性能。利用其靈活的工藝室設計，可以在較短的沈積時間內沈積廣泛的薄膜材料。Crius II是一個多室系統，有兩個過程室：反應室和底物室。反應室裝有感應耦合13.56MHz源，用於產生射頻等離子體。AIXTRON Crius II配備了獨立的射頻電源，允許精確的功率控制，具有低波紋和高水平的重復性，適用於廣泛的沈積過程。Crius II能夠產生多種氣體的高功率和高壓等離子體，允許用戶根據所需的結果調整工藝。底物室配有一個底物加熱器，溫度由一個外部循環單元控制，用於載流子、氮氣和氙氣。該機器設計用於在多種溫度範圍內運行,能夠均勻加熱至850 °C。AIXTRON Crius II還具有主動冷卻工具,可確保最佳沈積工藝條件。Crius II包括一個過程控制模塊，帶有用戶友好的軟件，用於沈積過程的配置和優化。可以根據用戶規格調整一系列工藝參數，如功率水平、工藝氣體成分和工藝時間。AIXTRON Crius II在結構上是模塊化的,允許根據各種沈積應用程序的需要更改資產硬件。Crius II是一種多功能反應堆，為用戶提供利用PECVD工藝優勢的能力。AIXTRON Crius II的壽命長、成本效益高、沈積效果高，是各種不同薄膜項目研發的絕佳工具。