二手 AIXTRON Crius II #9272517 待售

AIXTRON Crius II是為高精度生產半導體晶片而設計的先進外延生長反應器。采用創新的雙源沈積方法，為無缺陷異質結構裝置的制造提供了一種精確可靠的方法。Crius II利用由入口源、生長帶和基板平面組成的六邊形三區腔室。入口源結合了高效氣流系統和優化的基板輻照源。氣流單元用於在精確受控的壓力下將均勻供應的前體分子送入生長區。底物輻照源確保底物的所有部分均勻暴露於傳入前體分子的化合物貢獻下。生長區配有高精度旋轉晶片載體，通過精心設計的熱襯裏加熱至所需生長溫度。然後在整個過程中保持此溫度,確保最大均勻性。基板也通過使用雙密封設計保持在恒定溫度。結合這兩種方法,均勻地沖壓分子的晶體組成,引發外延生長.AIXTRON Crius II還利用了最先進的計算機監控機器。此工具可以從生長室和控制單元中捕獲數據,從而使用戶能夠實時查看其生產過程。可以監視此數據是否符合流程參數,並在發生任何流程中斷或故障時提醒操作員。此外，這些數據還可用於生成流程報告和跟蹤資產的總體績效。通過利用先進的工藝技術，Crius II為生產缺陷率極低的晶片提供了異常可靠和精確的方法。該模型已被廣泛應用於多種應用，從MEMS和光電元件到新的半導體器件。