二手 AIXTRON Crius II #9272520 待售

AIXTRON Crius II是一個雙源、最先進的MOCVD反應堆，設計用於大容量矽和復合半導體生產。它擁有緊湊的占地面積和用戶友好的工作面。Crius II具有多項創新功能,具有快速晶圓傳輸、高吞吐量以及手動和自動控制選項,可增強流程。AIXTRON Crius II被專門設計用於生產矽基板/晶片、高效太陽能電池生產、LED制造、MEMS/MOEMS、3D IC和HC GRIN鏡頭。Crius II提供精密塗層和計量系統，以增強過程的重復性。先進的獨立雙源設備為每個應用程序提供精確優化的增長條件，支持提高產量和縮短周期時間。每個源，例如氣源，都可以創建自己的特定條件集，為最大系統性能優化提供靈活性。AIXTRON Crius II還具有高效、可配置的Multi-Reactor設計，可實現復雜結構的多層沈積。先進的光學幹涉儀為工藝調諧提供雙向支持。該單元具有實時波長和強度控制，能夠動態優化過程。此外，Crius II還為光學濾波器測量提供專門的反射測量解決方案，並對沈積過程提供連續的光學監測。AIXTRON Crius II配備了一套廣泛的安全特性。其氣候控制設計采用閉環壓縮空氣冷卻機，以提高工藝性能。此外,Crius II還具有高級遠程訪問調試功能,以支持AIXTRON全球服務團隊。總體而言，AIXTRON Crius II是一種可靠、健壯的多功能MOCVD反應堆，為制造商提供了高性能、可擴展性和用戶靈活性的優勢。憑借其高通量率、精密工藝、安全特性和先進的光學監控，Crius II是制造大容量復合半導體基板的理想選擇。