二手 AIXTRON Crius II #9272522 待售

AIXTRON Crius II是一種高品質的沈積工具，旨在滿足研究和工業PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）社區的要求。Crius II是AIXTRON Crius的升級版，是一款性能可靠、功能廣泛的流行工具，以其快速的基板轉移和可選的焊接腔室而聞名。AIXTRON Crius II改進了其前身,升級後的Versa Platform™設備包括低壓、單室系統、完整的自動化和多種工藝技術。Versa Platform™單元旨在提供通用、可重復和可靠的PECVD解決方案,同時還提供了改進的產量均勻性、非活動腔室時間和過程靈活性。Crius II標配可編程基板加熱機、基板預清潔室，以及平臺控制軟件對沈積室的高級遙控。此外，該裝置還配備了可編程氣體輸送工具，可用於為多種工藝，包括SiO2、SiN、Ge和Ta2O5輸送多達三種前體氣體。AIXTRON Crius II的一個獨特特點是其先進的介電鏡腔配有Z形射頻天線，可高效產生具有可變PLD/PECVD功率設置的等離子體。這樣就可以提高沈積均勻性以及更高的基材吞吐量。此外，它的光束控制資產確保了平面沈積均勻性和小陰影效果。Crius II有一個可選的Viewpoint™監視和控制模型,它允許操作員實時遠程監視沈積室的健康和性能。此設備提供有關沈積過程的最新數據,以及警報系統,以提醒操作員註意任何需要註意的過程問題。為了進一步方便，AIXTRON Crius II也被設計為與其他AIXTRON工具兼容，例如AIXTRON Prodigy Multi-station Unit和AIXTRON SELECT沈積系統。這使得在設置沈積機時具有最大的多功能性，並確保Crius II在今後幾年中仍然是可靠和高效的沈積工具。