二手 AIXTRON Crius II #9272528 待售

AIXTRON Crius II是一種DC/RF增強化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於生產高質量的結晶半導體材料。它配備了最先進的直流/射頻源、腔室尺寸和先進的工藝控制，使其能夠提供最高的材料質量標準。Crius II是AIXTRON系列專用外延反應堆的一部分，旨在為各種半導體提供外延質量。AIXTRON Crius II在沈積過程中具有源和基板之間的直流電（DC），能夠產生最純凈的高純度半導體層。此外，由射頻發生器提供動力的諧振頻率（RF）源增強了層的結構和組成，從而能夠精確控制其特性。Crius II配備了大的源/基板配置，具有大的源/基板配置的高容量旋轉區域，以確保均勻的沈積層和高產率。這還輔以車載過程控制系統，為用戶提供對生長參數的精確控制，包括沈積速率、溫度分布和氧氣濃度。為了進一步提高外延晶質，AIXTRON Crius II具有雙源、雙基板構型，使得多源同時沈積。這樣可以精確控制區域到區域的沈積寬度，優化材料質量和晶體取向。Crius II能夠在高達1350°C的溫度下運行，循環時間低至15分鐘。結合AIXTRON Crius II提供的精確工藝控制，這使得它成為精確、快速和高質量外延沈積的理想選擇。此外，AIXTRON雲計算界面允許對反應堆進行遠程監控。總體而言，Crius II是一個高性能的CVD反應堆，通過直流/射頻源和車載過程控制系統提供對材料質量的精確控制，加上雙源雙基板配置的高速和快速循環時間。它是晶體半導體材料生產的理想選擇，是快速、高質量生產工藝的理想選擇。