二手 AIXTRON Crius II #9395952 待售

AIXTRON Crius II是一種低壓化學氣相沈積（CVD）反應堆，經過專門設計，用途廣泛，成本效益高。針對先進的半導體器件制造商，快速準確地生產出均勻性極好的優質薄膜。反應堆是完全自動化的，便於使用。它利用了一個獨特的源分布網絡,該網絡允許最佳的源定位,從而確保整個生長表面都能平等地獲得源材料。大的溫度範圍使得它適合多種應用。Crius II由固體鋁和不銹鋼部件構成，由密封和軸承表面密封。這使得它具有很高的可靠性和耐用性,並有助於最大程度地減少破損問題。它還具有主動熱監測和高熱導率，使用戶能夠完全控制溫度和壓力。AIXTRON Crius II有一個自動化的腔室進料和源分配系統，確保反應腔內均勻的質量流動。一個整體的粗加工泵連接到隔膜泵，有助於保持室內清潔和無顆粒和汙染物。這對於保持高質量的膠片和產量均勻性至關重要。此外，Crius II還包括一個熱線質量流控制器和一個真空計端口。熱線質量流控制器可以精確測量反應物流量，更容易控制沈積過程。該端口允許快速檢測反應室內的真空。AIXTRON Crius II還包含一些安全功能，如超壓保護系統、自動故障關閉功能和緊急疏散閥。總之，Crius II是一種先進的CVD反應器，非常適合生產具有均勻性和出色再現性的優質薄膜。其可靠耐用的構造、自動化功能、主動熱監測系統、堅固的安全特性和高溫範圍，使其對先進的半導體器件制造商更具吸引力。