二手 AIXTRON Crius II #9402490 待售

AIXTRON Crius II反應堆是一種高精度的臺式沈積工具，用於原子層沈積（ALD）和化學氣相沈積（CVD）。主要用於薄膜沈積應用。它設計用於以微電子、光電子、儲磁、儲能和生物醫學等多種技術可靠、精確和可重復地形成各種臨界界面層和薄膜。Crius II是一個完全自動化的系統,提供精確、可重復的過程控制。AIXTRON Crius II基於現場驗證的模塊化設計,可輕松集成不同的沈積模塊。它還包括各種先進的特性，如樣品旋轉和水平基板支撐、蒸發前和樣品加熱、電動快門，以及在復雜層沈積過程中同時進行源共沈積的共沈積選項。Crius II的沈積模塊配備了一個Moseley源持有者，允許單一或多個基質源構型和源介導的多種前體或反應物的共沈積。Moseley源支架的設計采用了有助於膠片沈積均勻性和均勻性的搖擺運動。AIXTRON Crius II還包括高精度樣品加熱器、快門和加熱快門設置。樣品加熱器采用真空密封、空腔後置設計。它提供快速的樣品溫度控制和精確、可重復的溫度。加熱的快門可實現無場、精確的並發沈積和共沈積，以及底物到背面蒸發的溫度控制。Crius II是納米層薄膜沈積的強大工具。它可以實現精確、可重復的塗層,從而實現具有精確確定的相位和界面邊界的經過實驗驗證的結構。AIXTRON Crius II能夠對各種沈積過程進行廣泛的參數調整，以實現最佳工藝控制。它是用於研究、開發和生產應用的強大、詳盡的工具。