二手 AIXTRON Crius-R #9260376 待售

AIXTRON Crius-R
製造商
AIXTRON
模型
Crius-R
ID: 9260376
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
MOCVD System, 12" 2012 vintage.
AIXTRON Crius-R是AIXTRON為生產高純度復合半導體而設計開發的一種外延反應器。這些半導體包括了各種砷化氙(GaAs)、磷化銨(InP)和砷化鋁的的的、(AlGaAs)。反應堆允許廣泛的生長參數,並設計用於生產規模和研究級的應用。Crius-R外延反應器不使用內部敏感器,這使得它更適合生產高質量的外延層。它還不需要在增長過程前後預熱或冷卻時間,從而實現了大量生產的高吞吐量。此外,由於反應堆的高效設計,它提供了高度的過程重復性和重復性。AIXTRON Crius-R外延反應器配有獨特的石英晶體微平衡(QCM)傳感器,可用於外延層端點檢測。這種改進的端點檢測允許改進對生長過程的控制,從而提高生長層的質量。Crius-R還具有創新的氣體入口和獨立控制功能,這對於產生所需的外延層至關重要。此外,反應堆還提供了一個集成的冷卻模塊,大大降低了生長溫度,顯著提高了底物的使用壽命。AIXTRON Crius-R外延反應堆具有多種集成的安全特性,以降低運行過程中發生危險情況的風險。反應堆還包括各種監測生長過程的診斷,以確保高質量的結果。總之,Crius-R外延反應堆是為生產規模和研究級應用而設計的,為研究人員和工程師提供了開發和制造高純度復合半導體的高效可靠工具。其集成的安全特性和QC傳感器提供了對外延過程的最大控制,實現了高水平的可重復性和可重復性。
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