二手 AIXTRON Crius #9184894 待售

AIXTRON Crius是一種最先進的分子束外延（MBE）反應器，設計用於半導體工業的研究和生產應用。它是一個完整的生產解決方案，提供MBE和其他薄膜沈積/蝕刻系統之間的接口。Crius反應器由三個主要組成：生長室、MBE源室和真空室。生長室是礦床或蝕刻形成的區域。它包含幾個組件，包括一個敏感器、一個拉伸板、晶片支架以及控制沈積或蝕刻過程所需的其他組件。MBE源腔是用於外延過程的氣體輸送的地方。真空室用於維持生長室內的低壓氣氛。AIXTRON Crius反應堆的加工溫度範圍很廣，從167°C到1000 °C，可以容納直徑達200 mm的基板，生長面積可達25 mm2。Crius利用電腦化的控件使過程自動化，允許用戶輸入和調整精確的程序和參數設置。生長環境由系統監控和控制,其功能包括在溫度或壓力水平升高時自動關閉。AIXTRON Crius反應堆利用間接加熱系統，已知該系統提供三元、四元和更高的源密度，允許復雜材料在單個晶片上生長。它還具有一個計算機化的裝載機，它允許更薄的晶片在不接觸基板或基板支架的情況下被裝載。反應堆設有安全特性，防止人員意外暴露。總體而言，Crius反應堆是半導體行業研究和生產應用的理想解決方案，提供高質量的薄膜沈積和蝕刻能力，具有先進的自動化和控制水平。