二手 AIXTRON Crius #9184895 待售

AIXTRON Crius是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，可用於各種半導體過程。Crius的設計目的是在比其他經典的CVD反應堆能達到的溫度和壓力更低的情況下，在大面積上提供高均勻性的沈積速率。這座反應堆也提供了市場上最低的運行成本。反應堆采用雙淋浴頭布置，增加了沈積過程的均勻性。這種構型迫使氣流均勻地滲透到腔室兩側，避免了腔室內沈積物料量的變化。使用旋轉的圓形淋浴頭大大提高了腔室邊緣沈積過程的平滑度。AIXTRON Crius反應堆可以達到各種半導體工藝所需的溫度，最高可達1,500 °C。Crius配備了三個RF電容器，配置用於原位等離子體生成，允許更高的反應堆性能，以及處理更高材料密度的可能性。反應堆可以在5 mBar至6.7 bar的壓力範圍內運行，這取決於工藝參數。AIXTRON Crius還提供了廣泛的氣體配置,允許各種應用。增強的過程控制選項包括自動腔室清洗、自動氣體切換和實時過程監控。Crius也與AXR SDK軟件套件兼容，方便反應堆融入更大的環境。此軟件包括高級外來對象檢測功能以及端到端數據采集功能,這些功能包括生產率監視、依賴於部件的嵌套和高級路由計算。AIXTRON Crius擁有較低的運營成本，以及增強的過程控制和強大的軟件套件，是半導體和太陽能電池處理的理想選擇。