二手 AIXTRON Crius #9184896 待售

AIXTRON Crius是由AIXTRON開發制造的高溫化學氣相沈積（HTCVD）反應器。Crius反應器設計用於生產大面積薄膜和使用各種高質量沈積工藝的納米結構裝置。反應堆裝有全透射式禮帽式石英室，方便接觸基板或樣品。AIXTRON Crius是有機發光二極管（OLED）和薄膜太陽能電池等研發應用的理想選擇。Crius是一個可靠、高效的反應堆，在高達400°C的溫度下運行。它配備了AIXTRON專利的多點點火系統，能夠快速啟動和簡化清潔和維護過程。該反應堆還設計為與AIXTRON先進的過程控制軟件配合使用，該軟件允許快速準確的過程參數調整。AIXTRON Crius具有全自動裝卸系統，能夠在幾分鐘內將基板移入和移出腔室。集成的射頻發電機可以輕松提供高功率，從而獲得統一、高效的結果。Crius反應器通過蒸餾室和敏感儀機架得到增強，從而能夠快速分析不同材料的化學和物理性質。此外，AIXTRON Crius反應堆與AIXTRON先進氣體輸送系統兼容，便於安全處理反應性氣體。Crius擁有高達每小時400晶圓的高速生產率，是批量生產的理想解決方案。該反應堆易於集成到現有生產線中，最低限度的設置和維護要求。該反應堆設計滿足廣泛的工藝要求，可用於基於矽烷、矽氧烷和鹵素化學的沈積工藝。此外，AIXTRON Crius還配備了多項安全功能，包括氣體探測器、火災探測器、超壓防護和絕緣工藝氣體供應線。綜上所述，Crius是一個高度通用的HTCVD反應堆，提供準確和可重復的結果。配備自動化裝卸系統、安全特性、過程控制軟件，是大型、工業生產優質薄膜和納米結構裝置的理想選擇。