二手 AIXTRON Crius #9222205 待售

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AIXTRON Crius
已售出
製造商
AIXTRON
模型
Crius
ID: 9222205
MOCVD System 31x2".
AIXTRON Crius是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)系統。它是專門為支持光學、電子和醫療產品開發和生產的廣泛應用而設計的。它用途廣泛,可與玻璃、塑料、金屬和陶瓷等多種基材配合使用。Crius反應堆利用先進和創新的感應耦合等離子體(ICP)源,有效地創造出高密度的輝光放電。這種輝光放電可以精確控制膜的組成、沈積過程參數和膜的均勻性。反應堆的ICP組件將高功率密度與「軟啟動」功能結合在一起,使運行過程中的灰塵和汙染降至最低。反應堆還設有一個溫度控制的「冷墻」室,有助於降低噪音和達到均勻的薄膜沈積條件。AIXTRON Crius反應器可用於沈積廣泛的薄膜,包括含有氮化物、氧化物、金屬和碳納米管、石墨烯等更奇特的材料的薄膜。它能夠將這些材料沈積在廣泛的厚度範圍內,並提供出色的均勻性和可重復性。它還采用先進的配方控制技術,使整個沈積過程自動化,不需要人工幹預。Crius反應器適用於半導體器件制造中使用的薄膜沈積工藝,也適用於光電器件制造。其多才多藝的設計和打造高品質薄膜的能力,使其成為工業和研究應用的誘人選擇。它非常適合原型和大規模工業生產,並且具有多種功能,使其易於安裝、維護和管理。總體而言,AIXTRON Crius是一種特殊的反應堆,能夠為廣泛的應用制造高質量、均勻的薄膜。其先進的ICP等離子體源能夠對沈積過程進行精確控制,而其「冷壁」腔有助於降低噪聲。其用戶友好的功能(如自動配方控制功能)使其成為工業生產或研究應用的絕佳選擇。
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