二手 AIXTRON Crius #9299684 待售

AIXTRON Crius是一種先進技術、多晶片、化學輔助的化學氣相沈積（CVD）設備，具有一系列精確的控制選項。它旨在幫助用戶將薄膜材料沈積到不同尺寸的基板上，如晶圓基板、柔性膠帶，甚至大基板（最高594mm）。Crius是一個多源多區反應堆，意思是整個沈積過程控制在同一反應室內。這樣可以在不同溫度和沈積速率下精確沈積薄膜。該系統還具有實時溫度監測和高效的溫度控制功能。AIXTRON Crius使用了一系列化學來源，包括氫氣、氦氣、氮氣和其他氣體，以及包括矽、碳和鎢氣在內的反應性元素。這使得它可以沈積多種材料，例如用於電子和光子學應用的薄膜。該單元還提供了對反應參數的精確控制，如氣體流速、反應時間和晶圓溫度，允許在各種各樣的底物上均勻。Crius's deposition chamber are designed for enhanced uniformity and repeatability,確保每個沈積周期使用相同的精確參數,每次產生一致的結果。這個腔室包含一個石英反應堆窗口，具有先進的光發射監測能力，可以對沈積層進行詳細分析。機器還包含一系列傳感器，允許對工具進行監控和控制，使其以峰值效率和最大安全水平運行。已設置警報以提醒操作員資產操作可能出現的任何異常或潛在威脅。總體而言，AIXTRON Crius反應堆是一個強大而可靠的模型，可在各種基板上提供精確的沈積和均勻性，使用戶可以更好地控制所使用的材料，並每次產生一致的結果。