二手 AIXTRON Crius #9302163 待售

AIXTRON Crius是一種用於生產半導體的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器。它以較大的加工室尺寸而聞名，允許大基板一次處理。這有助於縮短生產時間,最終提高產品的效率和吞吐量。反應堆采用多室架構建造，允許幾種不同的底物以不同的參數同時處理。腔室尺寸足夠大，可以容納多個200 mm或150 mm基板，以及其他幾個較小的基板。Crius配備了最先進的射頻源技術，用於制造能產生反應的等離子體。射頻源有一個14容量的雙頻電源,總輸出功率為10 KW。AIXTRON Crius還具有多種工藝氣體輸送配置，包括雙歧管氣體噴射器和向沈積區供應環境氣體。此外，反應堆具有先進的反饋控制系統，以確保輸出一致和優化運行參數。Crius還提供出色的溫度均勻性、機械穩定性和真空系統功能。在任何情況下,它都能夠將溫度保持在所有工藝室的設定值的40°C以內。此外，反應堆還配備了主動室高度調節，以考慮不同的基板尺寸，從而使過程均勻性保持一致。AIXTRON Crius還有一個無油液氮泵使它的真空高達5倍10⁻⁸毫巴。總體而言,Crius是一種可靠的半導體制造工具,提供多功能的處理功能、先進的反饋控制系統、出色的溫度均勻性和機械穩定性,以及能夠達到5 x 10⁻⁸ mbar的真空系統。其較大的加工室尺寸允許大基板一次處理，確保吞吐量增加。