二手 AIXTRON G2 #9222131 待售

AIXTRON G2是一種模塊化和可升級的沈積設備，具有金屬盒架以及各種控制器和樣品架配置。該系統設計用於金屬有機物化學氣相沈積（MOCVD），或更俗稱金屬有機沈積（MOD）。它是為高效生產高質量多量子井III-V半導體器件而設計的。該裝置的主要部件是沈積室，該沈積室由一個用於模具前體引入的射頻驅動等離子體源和一個壓力監測器、一個具有快速釋放和更換樣品和晶片機構的雙軸樣品支架以及一個用於支撐尺寸不超過12英寸的基板的工件支架組成。該機還對沈積室進行多區大氣控制，確保準確的生產結果。G2支持廣泛的工藝配方，使其能夠適應不同的應用，如磷光體轉換LED（PC-LEDs）、氮化深刻（GaN）器件、高摻雜底物、納米線和量子井結構。該工具還具有許多特定於區域的工藝控制選項,包括可變沈積速率和可調射頻功率。這增加了資產對薄膜晶體模板沈積的能力，從而支持設備制造所涉及的各種過程。該型號還配備了先進的監控設備。此系統使用戶能夠實時監視進度,還提供了遠程調整流程參數的選項。它還允許用戶存儲和召回配方以及優化工藝配方，這使得該單元具有靈活性，能夠滿足不同設備的特定要求。在機器維修方面，AIXTRON G2提供現場支持和維護服務。即使在延長使用該工具之後,這也能確保一致的生產性能。總體而言,G2是一種可靠的模塊化和可升級的沈積資產,具有廣泛的功能和工藝功能。它旨在提供過程穩定性和一致性,同時能夠高效生產高質量的III-V設備。