二手 AIXTRON G4 #293592747 待售

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製造商
AIXTRON
模型
G4
ID: 293592747
MOCVD System.
AIXTRON G4反應堆是一種生產率高、用於生產半導體和其他微電子材料的閉環水平反應堆。這類反應堆廣泛用於制造GaAs、GaN和AlN材料。其設計效率極高,易於調整,為外延層的生長提供了最佳條件。與競爭反應堆相比,AIXTRON G4具有更高的熱清潔度,可以更好地控制沈積條件並提高可重復性。G4的低運行溫度使其高效,總生產時間顯著縮短。反應堆的可靠性和堅固的設計使其能夠長期持續使用,從而消除了停機時間並降低了維護成本。G4的可移動擺臂可實現均勻的腔室運動和出色的角度均勻性。這樣就縮短了循環時間,產生了高產率、出色的步長覆蓋範圍和對晶圓失真的敏感性。AIXTRON G4最多可容納兩個基板支架,其起重設備便於基板操作。AIXTRON G 4集成了高級自動化功能,可用於趨勢跟蹤、警報、過程診斷和反饋功能,從而確保平穩運行生產過程。強大的聯網PC控制系統輕松簡化了在線和離線模式對各種應用程序的控制和分析。這使得G4設備非常適合生產設備類型和研發應用。此外,G4的智能氣體輸送機能夠實現精確的氣體流動和低流量脈動。這樣可以確保準確和均勻的發射極/集電極間距,從而支持改進的電流流動。此外,AIXTRON G4包括一個單一的晶圓均勻性監視器,可以用來檢測潛在的問題之前,他們成為關鍵。綜上所述,AIXTRON G4反應器是制造先進微電子技術的理想解決方案。它易於調節,可靠性高,提供出色的熱清潔和自動化控制。G4具有較低的工作溫度和優異的均勻性,可提供高質量、高產量和最小化總生產時間的材料。
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