二手 AIXTRON G4 #9181339 待售

AIXTRON G4是一種自動化和通用的生產級MOCVD反應堆，能夠為各種應用高效和可靠地生產光電器件。AIXTRON G4旨在以高精度、精確度和重復性執行外延增長過程。反應堆具有強大的電動機，可提供精確生長過程所需的高速、連續運動。反應堆還包括一個感應加熱的石英冷壁和鎢鹵素燈，用於在整個工藝室內產生均勻的熱加熱。G4使用高級配方編輯器,使用戶在增長過程中具有充分的靈活性。該軟件使用戶能夠配置和準確控制氣流、烤箱溫度、氣體截止和沈積步驟的時間安排。該軟件還提供先進的安全功能，例如基於數量的關閉，以防止過度沈積和氣體混合物問題。此外，G4采用局部溫度傳感器進行溫度反饋控制，確保在整個過程中對生長參數進行準確控制。AIXTRON G4配置了直徑25厘米、生長表面6厘米的加工室。AIXTRON G4反應堆提供了一個堅固的設計方便維護和清潔長期實驗。該設備還提供了真空遠程視圖系統，用戶無需打開設備即可檢查基板的位置和生長結果。這有助於提高生產效率和安全性。G4旨在促進III-V材料的生長，如砷化鋁的（AlGaAs）活性層、多層結構以及其他化合物半導體材料。它特別適合制造激光、光電探測器等高性能光電器件。由於該機設計方便地將其他工藝室互連以進行直列生產，因此適合以負擔得起的成本批量生產設備。