二手 AIXTRON G4 #9222127 待售

AIXTRON G4是一種革命性的反應堆設備，設計用於生產含矽材料。它提供了卓越的性能，使得生產先進的薄膜材料和納米結構的大規模。它以最新的摻雜劑技術為特色，以增強多種材料的生長，包括能夠摻入鋁、氙和砷（AlGaAs）等元素。反應堆系統由工藝室、射頻發生器、氣體輸送單元和集成沈積監測機組成。該室是一個完全計算機化的外殼，旨在實現可重復、自動化的過程控制。它針對低溫工藝進行了優化，使得在具有廣泛不同工藝要求的基板上生產高質量薄膜成為可能。射頻發電機能夠提供高達100 W的射頻功率，頻率範圍從6 kHz到40 MHz。這種功率可以精確調諧，以滿足特定的氣體工藝要求。它還提供了出色的安全特性，如過溫保護和電弧故障檢測。氣體輸送工具由若幹個單獨控制的配氣出口組成。這種資產可以精確控制材料的沈積速率和產量，包括能夠避免在所需的厚度上塗覆過大或過低。此外，這一模式還根據工藝要求提供了使用各種氣體的靈活性。最後,AIXTRON G4采用集成沈積監測設備.該系統由光發射光譜（OES）、薄膜厚度測量裝置和在線質量控制組成。結合這三個組成部分使G4能夠直接現場監測沈積過程，實時提供過程反饋，並立即提醒操作員註意任何問題。總而言之，G4是一個革命性的反應堆單元，旨在提供廣泛的材料生長能力。其創新特性、高精度控制和廣泛的監控能力相結合，使其成為大批量生產先進材料和納米結構的理想選擇。