二手 AIXTRON G4 #9222130 待售

AIXTRON G4是AIXTRON的G系列反應堆家族成員。它是一個低壓化學氣相沈積（LPCVD）反應器，特別為晶體和半導體材料生長而設計。該計算機控制反應堆的特點是其組件設計得到改進，性能更高，運行效率更高。與其他系統相比,它提供了更好的一致性、可重復性和可重復性,同時涵蓋了廣泛的增長過程。AIXTRON G4采用密閉微波室，允許金屬和非金屬衍生物沈積在不同的晶圓材料上。它配備了兩個ECR（電子回旋共振）等離子體源，提供可調節的功率水平和廣泛的壓力水平頻譜。微波設備是獨立控制，允許小，但精確，對氣體的流量變化。還包括AIXTRON CleanScan II視頻系統,允許實時現場監控。反應堆支持單個晶片和負載鎖交換單元。這臺機器的設計使單面和雙面晶片的工藝具有均勻性和可重復性。晶片的加載機構也被自動控制和調整，確保了安全可靠的沈積環境。G4對溫度、壓力等必要參數的調整也是高效的。它能夠提供精確的控制，達到更高的性能和均勻性與精確的層間形成。它的腔室還配有一個不銹鋼波紋管，旨在提高腔室的均勻性，其低機械應力，防止過熱。該工具還確保了單個晶片上可重復模式的一致性。G4是處理半導體和微電子工業中各種材料的理想工具。憑借其精確精確的操作，非常適合優化半導體器件，如矽薄膜、絕緣子上矽器件和應變矽。