二手 AIXTRON G4 #9382363 待售

AIXTRON G4是專為提高微波等離子體增強型化學氣相沈積（MPCVD）系統性能而設計的最先進的反應堆。AIXTRON G4因其集成的過程控制、長時間的沈積運行和可重復的沈積結果而在其他反應堆中脫穎而出。它還有一個專利設計，有一個實驗室級的旋轉汽缸室和一個絕緣的六角形空腔。該反應堆既適用於原型生產，也適用於中高批量生產。G4利用微波能量創造出等離子體，使薄膜、層和層的精密沈積成為可能。它使用具有多源特性的電子槍，允許對氣體混合物和不同層的壓力進行獨立控制。氣體混合物既可以是反應性的，也可以是惰性的，並且可以被精確監測，從而可以錯綜復雜地控制生長膜。G 4還配備了壓力傳感器和外部操作的氣體控制系統。這樣可以進行溫度管理和更好地控制等離子體工藝參數。它還配備了效率高兩倍的真空系統，允許長時間的沈積運行，可重復結果。其核心工藝能力包括精確的薄膜厚度和出色的化學計量。它還具有高品質的薄膜、優越的電子遷移率和出色的增長率，除了能夠產生具有其他系統難以實現的性質和成分的薄膜。AIXTRON G4還在監控能力方面表現出色，具有等離子體參數的實時在線監控以及數據記錄功能。這樣可以方便地存檔和檢索數據和信息。總之，AIXTRON G4是一種先進、用途廣泛、可靠的反應堆，可以大大提高MPCVD系統的性能。其專利設計、高質量的薄膜、溫度控制和長時間的沈積運行，使其成為從納米技術到半導體制造等應用的理想原型和生產用途。