二手 AIXTRON G5 HT #193899 待售

AIXTRON G5 HT是一種革命性的、高性能的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，用於III-V、II-VI和復合半導體材料的生長。由AIXTRON開發制造的AIXTRON G5HT非常適合生長GaAs、InGaAs、InP、GaN、AlGaN，以及用於光電器件的相關材料，如激光、LED和激光二極管，以及復合半導體。G5 HT是一種水平反應堆設計，提供50毫米和75毫米底物的大腔室體積。可容納615mm和1000 mm的最大基板尺寸。為了獲得更高的晶體質量，G5HT具有獨特的專利均質和通過改進的氣流設計對原料進行非常低的固有傳輸，從而提高了整個基板上的材料沈積均勻性。反應器外殼采用高品位不銹鋼制成，為提高晶體質量提供了最佳的均勻加熱。AIXTRON G5 HT是先進半導體材料的可靠來源，提供結晶度、均勻度、表面形態和器件性能。它包括多個源，如加熱的集群墨盒、無限源、氣泡、液體註入源和射頻源，允許高溫和低溫過程。AIXTRON G5HT還能夠進行先進的氧化過程和雙粒子束撞擊。再者，G5 HT配備了廣泛的硬件和軟件工具，用於完整的散熱、光學和過程控制，甚至進一步的多功能性。其中包括激光幹涉儀、反射高能電子衍射圖監測、質譜儀、壓力傳感器、氧氣傳感器以及AIXTRON專有AIMS™軟件。所有這些特性結合在一起，創造了一個強大、可靠的MOCVD反應堆，能夠為一系列光電和復合半導體器件生產高性能、高產量的材料。