二手 AIXTRON G5 HT #9238747 待售

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製造商
AIXTRON
模型
G5 HT
ID: 9238747
System.
AIXTRON G5 HT是為廣泛工業應用而設計的最先進的高溫CVD反應堆。它是一個6英寸的自動化、緊湊的平臺,為在高溫和真空壓力下合成和加工一系列材料提供了可靠、低成本的方式。配備高溫燃燒器的AIXTRON G5HT反應堆提供了可達1200 °C的受控環境和精確的溫度控制。該系統效率高,可用於生產幾乎任何材料的高密度薄膜,包括半導體、金屬、陶瓷和各種聚合物。G5 HT反應堆具有多種用戶友好的特點,如可調節的前體噴射器、可變磁場和自動裝載系統。操作員可以精確控制前體的流動,允許最大限度的材料沈積在單一晶圓均勻性。反應器的溫度控制基板支架確保均勻加熱,並在整個樣品中均勻分配熱量。此外,可調節磁場允許壓縮和擴大磁域,這可以改善材料特性,如結晶度。該反應器還得益於掃描電子顯微鏡(SEM)插件,允許實時檢查成型層。SEM支持周期時間優化,並允許觀察薄膜形成和表面形態。G5HT配備了一個強大的軟件包來監控、控制和分析制造過程。軟件使用圖形用戶界面(GUI),允許用戶快速、輕松地設置和操縱沈積參數。由於AIXTRON G5 HT具有各種可調參數和高溫範圍,是一種理想的系統,適用於各種工業應用,如薄膜沈積、原型設計和產品計量。
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