二手 AIXTRON G5 HT #9256337 待售
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ID: 9256337
優質的: 2012
MOCVD System
Capacity: 56x2", 14x4", 8x6"
Wiring: 4-Wire with ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2012 vintage.
AIXTRON G5 HT是由先進技術沈積系統領先制造商AIXTRON制造的高溫反應堆。AIXTRON G5HT是為大面積半導體器件應用而設計的高級外延工具，如Power MOSFET、高性能電力電子和High Electron Mobility Transistors（HEMTs）。G5 HT可將工藝溫度維持在1045°C,並提供精確的溫度控制。配備了自動壓力控制、高壓沖洗等多種設備特點，保證了高質量的薄膜沈積工藝。系統的核心是感光器、石英鹵素燈和射頻發生器。該感應器的設計便於操作過程中的加載和卸載。其溫度範圍為300-1300 °C，采用紅外和鹵素燈組合加熱。石英鹵素燈提供聚焦、集中加熱，易於調節，提供光滑的加熱模式。射頻發生器提供額外的熱力，可用於產生等離子體工藝，以提高沈積速率和提高工藝性能。G5HT利用AIXTRON專有氣體輸送裝置，允許在不需要輔助氣體管線的情況下輸送各種前體材料。這使得可以沈積的材料類型具有完全的靈活性。此外，AIXTRON G5 HT還能進行厚膜氮化氙摻雜，使高電子遷移率晶體管（HEMTs）的制造成為可能。AIXTRON G5HT的優點包括高溫能力、沈積多種材料的能力、高效的氣體輸送機以及精確的溫度控制。G5 HT是一種可靠、經濟高效、易於使用的工具，使其成為半導體器件制造的絕佳選擇。
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