二手 AIXTRON G5 #293601017 待售

AIXTRON G5是一種高級水平回流（HOR）反應器，專為生產復合半導體材料而設計。該反應器能夠處理從分子束外延（MBE）到金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）的各種沈積過程。AIXTRON G5的核心是專利絕緣、輸送機設備和垂直冷墻的獨特組合。通過這些組分將工藝室與熱區分離，為復合半導體材料的沈積創造了穩定的環境。G5的主要特點是其大腔室設計，直徑超過2.4m。這使用戶能夠同時容納大量的基材和物料來源，從而最大限度地提高工藝效率。要管理這個大腔室，它分為兩個功能層次，可以以不同的配置排列，以適應任何特定的沈積過程。上層用於引進原料，下層用於回收所得產品。G5的另一個關鍵特點是其專利保溫系統。該單元由應用於所有內室壁的非金屬材料組成，有助於減少基板支撐系統的熱損失。由於這種絕緣機，AIXTRON G5能夠保持工作溫度比傳統水平反應堆高10倍。先進的AIXTRON G5垂直冷墻工具進一步優化了工藝室的環境。這種巧妙的特性有助於減少晶片盒加工和其他基板之間的溫度變化，從而更好地控制整個生長過程。對冷壁角度、溫度和流量的調整可以手動改變，以適應任何工藝要求。最後,G5還具有定制設計的輸送機資產,使物料處理和裝載更加簡單高效。這種輸送機模型也是完全自動化的，允許對反應堆的溫度剖面、氣體控制和其他設置進行遠程控制。因此，G5是一個可靠和強大的HOR反應堆設備，具有令人印象深刻的一系列特點和能力。