二手 AIXTRON G5 #9222132 待售

AIXTRON G5是生產優質薄膜材料的最先進的沈積工具。它以革命性的蒸發/濺射和成像技術為基礎，使用戶能夠制作出具有高度一致性和控制生長參數的薄膜。AIXTRON G5由一個高精度的反應堆室組成，由幾個外部單元包圍。腔室本身是由不銹鋼製成，設計為保持10-4毫巴的工作壓力。室內是濺射和蒸發源，由四個濺射目標和四個蒸發船組成。這些靶子可以用來沈積厚度從幾納米到幾微米不等的薄膜。沈積速率和工作溫度均可調節,溫度可達800 °C,沈積速率超過5nm/秒。G5的控制系統基於智能軟件包，使用戶能夠對沈積參數進行實時優化。可以自動或手動控制濺射和蒸發目標以及批處理過程,從而使用戶無需幹預即可啟動和停止進程。該系統還包括一個無晶體衍射分析單元，能夠實時分析和控制過程，以達到最佳的薄膜質量。G5反應堆配備了一系列不同的腔室和原位能力，如離軸和原位溫度測量、紅外成像和四點探針電氣表征。這些原位功能提供了關於膠片結構的大量信息來源，同時也允許用戶微調工藝條件以獲得更好的膠片質量。AIXTRON G5專為高品質薄膜的晶圓廠而設計。它被用於生產廣泛應用的材料，包括光電器件、半導體、光伏和燃料電池。該系統也適用於新材料和新工藝的研發。AIXTRON G5是一種先進的沈積工具,具有先進制造工藝所需的靈活性。它結合了自動化的控制系統、先進的原位能力和高精度的操作，使其成為生產高質量膠片的理想工具。