二手 AIXTRON LYNX-III #9067043 待售

AIXTRON LYNX-III
製造商
AIXTRON
模型
LYNX-III
ID: 9067043
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD system, 12", 2007 vintage.
AIXTRON LYNX-III反應堆是用於在生產環境中調制光的工具。具體來說,LYNX-III專為高溫化學氣相沈積(CVD)應用而設計。是生產大面積、均勻薄膜的先進高效解決方案。AIXTRON LYNX-III是一種中批量、平行反應室,具有優異的溫度均勻性和輸出質量。它采用了先進的線性射頻發生器,具有優異的材料特性,而其低熱質量設計允許散熱和控制。LYNX-III反應堆有一個多元件光學設備,其中光源和焦點平面都可以調節,以確保所需的處理均勻性。光學元件受濾光系統保護,濾光系統吸收特定波長的入射光,以優化生產薄膜的效率和質量。另外一個濾波器通常也用於吸收進入的太陽輻射。AIXTRON LYNX-III反應堆的最大額定功率為8kW,可以接受液體、超臨界氣體和等離子體形式的原料。LYNX-III反應堆具有可定制的介電和熱特性,可以在單束和雙束配置中運行。由於精確的光學單元和反應物分布網絡的結合使底物溫度中的任何梯度最小化,它在整個底物上提供了顯著的均勻性。AIXTRON LYNX-III還配備了多種安全功能,包括緊急鑰匙開關、電源切斷、溫度監控和診斷指示燈,可提醒操作員註意任何潛在故障。總之,LYNX-III是CVD生產的優越解決方案,因為它利用先進的光學機器和線性射頻發生器來獲得最大的效率和均勻性。它非常適合多種材料,提供卓越的介電和熱性能,同時還提供多種安全功能,確保準確、安全的制造環境。
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