二手 AIXTRON LYNX-iXP #293804468 待售
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AIXTRON LYNX-iXP是一種基於業界領先的AIXTRON閉合耦合淋浴頭（CCS）技術的最先進的沈積工具。它具有獨特的架構，由反應室內的板和附著在室外的等離子體源組成。該設計最大限度地減少了反應堆壁上的氣體傳輸時間和表面反應，有助於最大限度地提高吞吐量。這項技術使等離子體更加均勻穩定，增加了材料沈積速率。LYNX-iXP使用多種氣體化學和器件配置與周圍的CCS板相互作用。它具有超高真空操作能力，底壓小於1.0E-7 Torr。這使反應堆能夠以極高的精度和精確度處理各種材料。沈積過程使用先進的計算機系統和工具界面提供的各種獨特應用程序進行控制。例如，「SOLATE」應用為半導體器件開發外延層提供了非常低的能量沈積。AIXTRON LYNX-iXP非常適合用於研究應用,可用於開發各種應用的高質量薄膜。它是專門為加工低k電介質和其他CCS技術非常適合的材料而設計的。這包括氧化物、氮化物和氟化物等材料。LYNX-iXP還提供優越的基板溫度，最高溫度超過500 °C。這樣就能夠沈積高質量的材料，如金剛石狀碳，在AIXTRON LYNX-iXP上已被證明是成功的。加熱和冷卻系統集成到腔室設計中，以確保可以達到統一和可重復的要求。LYNX-iXP能夠提供高質量的沈積結果，具有廣泛的材料和應用。高度優化的氣體動力學和廣泛的控制參數為沈積過程提供了一個通用、可靠的解決方案。利用AIXTRON CCS技術，AIXTRON LYNX-iXP在薄膜沈積中可達到前所未有的精度和均勻性。
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