二手 AIXTRON LYNX-iXP #9092600 待售

AIXTRON LYNX-iXP
製造商
AIXTRON
模型
LYNX-iXP
ID: 9092600
晶圓大小: 12"
CVD system, 12" Process: metal films SiH4-based WSi DCS-based WSi Tungsten (W) Ultra-thin WSi film 15L MKS RPC Clean (1) Brooks Transfer Module (3) Process Module AC Rack Monitor Rack.
AIXTRON LYNX-iXP是一種先進的交鑰匙等離子體加工設備,設計用於半導體制造的研究和生產應用。它采用了一種大功率沈積源,能夠以極高的速率、均勻性和準確性沈積各種金屬和其他材料。系統還配備了獨特的交互式流程室,提供了根據應用快速調整流程條件的靈活性。使用LYNX-iXP,客戶能夠以更快的速度、更高的效率和更節省的成本來執行其流程操作。AIXTRON LYNX-iXP配備了內置的自動晶片處理單元,旨在提供不間斷和可靠的處理,以減少潛在的汙染風險和對被加工晶片的損害。其穩定、高精度的自動加載確保了高效的吞吐量和提高的產量,即使在使用更大的晶圓尺寸或更高沈積速率的材料時也是如此。LYNX-iXP由一臺先進的等離子體發生器供電,允許用戶精確、獨立地對沈積參數進行編程。這允許從一個工藝步驟到下一個工藝步驟的高度過程均勻性,無論是層厚、化學成分,還是表面地形。這種精確度也使得AIXTRON LYNX-iXP成為特種材料沈積或納米級特征沈積的理想工具。為了安全和高效,LYNX-iXP配備了集成的高級原位清除機(IPS),它使用戶能夠快速準確地調節工具的壓力、溫度、流量和混合體。這有助於保持工藝質量,同時將甲烷和其他反應物保持在安全限度之內。AIXTRON LYNX-iXP還具有多種接口功能,可靈活地與各種現有系統集成,並結合工藝參數和叠加測量。自監控資產允許用戶在不斷監控整體性能的同時優化流程條件。該模型還可以隨著用戶需求的增加進行升級,從而實現從研究到生產的平穩過渡。總之,LYNX-iXP為用戶提供了一個完整的交鑰匙等離子體處理解決方案,其精確度和靈活性可滿足各種應用程序的需求。AIXTRON LYNX-iXP通過結合先進的自動化、高精度工具和集成過程,可以提高生產過程的效率和成本效益。
還沒有評論