二手 AIXTRON LYNX2 #9130267 待售

AIXTRON LYNX2
製造商
AIXTRON
模型
LYNX2
ID: 9130267
System.
AIXTRON LYNX2是一種最先進的半導體制造反應器,設計用於沈積高質量的薄膜材料,用於各種技術應用。它是將等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)技術與高效、低成本的真空沈積相結合的多合一反應器。LYNX2能夠沈積在大面積基板上,如面板、晶片,甚至是柔性材料。AIXTRON LYNX2的高性能沈積工藝是通過其自動化的工藝控制、精密的高級加熱能力、在所有溫度下一致的工藝控制以及保持膜的均勻性來實現的。此過程由可選的負載鎖定功能啟用,允許以最小的操作進行短或長沈積運行。自動控制軟件允許用戶根據過程要求或材料類型的變化修改沈積過程參數,而不需要或不需要進一步的人工幹預。LYNX2的設計包括反應堆室內優化的靜電和磁場,最大限度地減少剝落和破壞,確保均勻性和高質量的沈積速率。AIXTRON LYNX2具有較高的吞吐量,這意味著較大區域的沈積時間可能較短。這樣可以提高工作效率、可靠性和可重復性,從而提高對工作效率的客戶的滿意度。LYNX2的集成過程監控和反饋系統為沈積過程的質量和一致性提供了寶貴的見解。工藝控制特性便於調整工藝參數,以確保所有材料的沈積厚度和質量都令人滿意。AIXTRON控制技術可防止任何沈積過多或不足的物料層。AIXTRON自動故障診斷和報告系統允許輕松更換單個模塊,從而增加了故障之間的平均時間(MTBF),進一步提高了AIXTRON LYNX2的可靠性和性能。維護警報系統表示有任何流程故障或硬件故障,靈活的軟件體系結構允許立即高效地進行自動記錄和流程調整。LYNX2是一個最先進的反應堆,為各種行業提供一系列高質量、高成本效益的沈積技術。其自動化控制系統可確保高吞吐量、最低維護要求和可重復的薄膜沈積結果。其先進的靜電和磁場保證了高均勻性和薄膜質量。它的過程監測和反饋系統為沈積過程提供了寶貴的見解,並使之能夠在必要時迅速作出改變。其高性能、自動化過程和低成本確保AIXTRON LYNX2是半導體制造的理想選擇。
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