二手 AIXTRON LYNX3 #9158988 待售

AIXTRON LYNX3是一種高端III-V外延反應堆，設計用於生產質量最高的III-V材料。它基於AIXTRON工業尺寸300 mm HDP-CVD和LPCVD平臺,提供直徑可達200 mm的基板尺寸。其先進的CVD平臺提供低溫、高精度、高通量的工藝，非常適合復合半導體器件制造等應用。LYNX3反應器設計用於使用各種III-V材料生長單層、多層和異質結構。其專有的調制外延層沈積（MELD）技術使得量子點和量子環等多組分層的精確、低溫增長成為可能。AIXTRON LYNX3的獨特功能包括高級晶圓對準和剖析、高級溫度控制和擴展表征功能。反應堆工作壓力範圍廣，溫度控制先進，精度為0.01 °C。其先進的晶圓對準和剖析系統在X、Y和Z軸上提供精確的晶圓對準。它的可擴展表征和計量系統可以確定厚度、折射率和晶體結構。反應堆先進的SiNx擴散Windows和蝕刻Windows可實現有效的表面各向異性和晶體表面特性,從而提高設備性能。它的羽內氧化能力使直接氧化和數字傳輸層具有更高的可重復性和更好地了解氧化參數。該反應器還具有可編程快門控制功能，使實驗可重復進行，並增強了工藝優化。LYNX3旨在滿足工業用戶的特定需求,並提供高度的可擴展性和靈活性。該反應器具有先進的特點和更強的可控性，非常適合多層結構和雜交增長，精度和吞吐量最高。其先進的CVD平臺確保了設備性能優化的可重復性和均勻性。