二手 AIXTRON Tricent #9199207 待售

製造商
AIXTRON
模型
Tricent
ID: 9199207
優質的: 2005
CVD System Cluster tool for wafer Handling system: BROOKS Gemini GX6000 High-k dielectric layers AVD System: Metallic nitride 2005 vintage.
AIXTRON Tricent是由AIXTRON開發的一種大氣壓力化學氣相沈積(AP-CVD)反應器。該工具旨在為用戶提供可靠、高性能的納米材料和薄膜沈積平臺。與其他CVD系統不同,Tricent采用先進的串聯設計,可輕松與其他流程或設備集成。該設備具有三個主要組件-冷安裝件、熱安裝件和噴嘴-它們旨在提供廣泛的工藝能力和均勻性。AIXTRON Tricent的冷安裝是一種堅固可靠的三區加熱器系統,可確保整個基板的溫度分布均勻。此外,冷氣安裝裝置還具有先進的氣體控制和凈化機制,有助於實現卓越的溫度控制和工藝穩定性。Tricent的熱安裝具有先進的弧形插頭設計,允許用戶以盡可能高的長寬比存放材料。此外,熱裝有一個優化的供氣單元,保證了整個加工周期的最佳氣體流量。本機設計為提供均勻的結構和完美的粘合沈積層.為確保薄膜沈積均勻,AIXTRON Tricent配備了高度精確的噴嘴。這種噴嘴是為長期運行而設計的,保證了材料的穩定和可再現的排放。此外,噴嘴能夠產生精確尺寸和確定速度的液滴,這有助於確保在基板上均勻沈積薄膜。總體而言,Tricent是一個功能強大且用途廣泛的納米材料和薄膜沈積平臺。能生產均勻厚、優質的層,附著力好、精度高。此外,其先進的串聯設計使其易於與其他工藝和設備集成。
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