二手 AIXTRON Tricent #9222204 待售

AIXTRON Tricent是當今半導體工業所需的用於高容量沈積的最先進的沈積反應器。為了降低成本和時間,Tricent利用統一的垂直系統以最有效的方式提供沈積和熱處理。AIXTRON Tricent的內部結構由一個石英管（充當反應堆室）和幾個氣體入口組成。石英管有一個中央加熱元件，由絕緣材料包圍，以作進一步保護。此外，還有一個先進的溫度控制器，用於精確控制溫度並達到期望的效果。為確保溫度準確,安裝了一個監視器,可提供實時反饋和控制。Tricent的一個主要特點是能夠處理高反應性和精細材料。AIXTRON Tricent具有兩個獨立的處理頭-精確調制源（PMS）頭和重型源（HDS）頭-能夠處理不同的工藝化學。PMS頭設計用於處理敏感和反應性材料，如氮化物、氧化物和多晶矽，而HDS頭則用於金屬、合金和聚合物等較重沈積。Tricent配備了高精度的等離子體源，可以完全控制等離子體環境。可以對等離子體源參數（如壓力、流量和電力）進行操作,以生成針對特定應用進行優化的自定義過程。此外，圖樣晶圓加工也是可行的，使得AIXTRON Tricent能夠進行非常精確和均勻的沈積。最後，Tricent配備了6軸機器人晶圓處理系統，具有卓越的精度和重復性。這個機器人可以處理大批量的晶圓，允許更快的處理時間和更高的產量。總體而言，AIXTRON Tricent是一種高度先進的沈積反應堆，旨在在最苛刻的工業環境中提供最大的生產力和準確性。利用先進的工具和技術,Tricent一定會成為先進材料加工的首選。