二手 AIXTRON Tricent #9396754 待售
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ID: 9396754
優質的: 2006
CVD System
BROOKS AUTOMATİON Gx6000 Handler
BROOKS AUTOMATİON Magnatran
2006 vintage.
AIXTRON Tricent是一種專門為氮化物基材料的沈積而設計的三電極化學氣相沈積（CVD）反應器。Tricent被設計為通過揮發性金屬氮化物化合物如氮化鋁、氮化銨、氮化氙等的分解來沈積氮化物層。它利用平面型RF/DC驅動的過程，其中兩個電極被用於創建等離子體，以及一個輔助電極來控制直流偏置。這種配置由於等離子體產量較高而提高了工藝性能，因為直流偏置可以實現更快的熱化，從而導致更高的沈積速率。AIXTRON Tricent可以在不同的氮化物工藝氣體下運行，包括NH3、GeH4和矽烷。考慮到反應堆的小型設計，該反應堆能夠實現較高的沈積速率。它具有非常快的沈積速率切換能力，非常適合涉及快速切換工藝氣體和/或基板溫度的應用，如厚層沈積。Tricent還提供即時基板溫度和氣體控制,從而可以在運行過程中監控和優化過程。AIXTRON Tricent利用自動化的流程優化功能,允許用戶快速調整流程參數。這使得用戶更容易學習如何操作反應堆，並在處理新材料系統或過程時盡量減少停機時間。此外,用戶還可以受益於高級智能流程控制系統,該系統使用反饋環路和診斷程序來監控流程並保持一致的沈積速率。最後，Tricent有一個不銹鋼外殼，可以很容易的維護和清潔。反應堆內部鉆研所有未被底物占據的表面積，抑制沈積在未有意暴露於反應物的表面上。結果是提高了表面質量，提高了沈積速率，提高了可靠性和可重復性。
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