二手 AIXTRON TS 19x2" FT #9135813 待售

AIXTRON TS 19x2 "FT是一種用於復雜的高產薄膜制造工藝的最先進的基於氟代膦的多反應器室設備。該系統采用AIXTRON先進的調制電子回旋共振（ECR）源技術，可以在高溫下進行有效的層沈積。這類反應堆采用ECR微波產生的等離子體和熱處理相結合的方式進行有效的層生長。反應堆包含一個20英寸寬的真空室，並提供高達2900 °C的處理能力。該反應堆配有原位氣體凈化和分析組件，以確保一個穩定和可重復的過程。TS 19x2 "FT使用真空泵送單元，能夠維持1 x 10-7 Torr至1 x 10-10 Torr的過程壓力。它能夠在廣泛的氣體種類下發揮作用，或者作為預清除過程的一部分，或者作為連續流動的一部分。AIXTRON TS 19x2 "FT提供高效的基板加熱和廣泛的均勻層沈積能力。基板可以加熱到600 °C，以確保高效生長。反應堆還提供了高達100的強大的源改進系數，這意味著它能夠在基板上提供極為均勻的層沈積。此外，該機還可以在循環氣體模式下運行，從而提高了工藝控制和成本效益。TS 19x2 "FT適用於廣泛的薄膜制造工藝，包括用於生產光電、半導體和光伏器件的工藝。其高度可靠和可重復的功能使其成為高需求制造應用的理想選擇。功耗和運營成本也由於其先進的ECR源技術而最小化。該工具還可以與AIXTRON高級流程監控軟件集成，允許全過程監控。AIXTRON TS 19x2 "FT是研究和工業應用的理想選擇。