二手 AIXTRON TS 19x2" #9386920 待售

AIXTRON TS 19x2是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於半導體生產。它具有頂載石英管、遙控手動升降機和可移動加熱區，允許用戶調整和優化反應堆參數以獲得最佳性能。AIXTRON TS 19x2包括三條加熱氣體入口管線和一條制冷劑出口管線。AIXTRON TS 19x2先進的控制設備可以提供精確的氣相控制，允許用戶精確控制薄膜沈積參數，修改反應堆內部的溫度剖面。此外，AIXTRON TS 19x2具有內置的機械化學模塊，使用戶能夠將沈積配方與溫度、壓力和氧氣水平等反應條件相結合。反應堆包括三個工藝氣體安全閥，可由0-100%調節，以確保安全可靠運行。AIXTRON TS 19x2反應堆設計具有廣泛的安全特性，確保成功可靠運行。反應堆包括氣體泄漏監測儀，可檢測反應堆內任何氣體或蒸氣低於正常運行濃度，必要時關閉系統。此外，反應堆還配備了一個自動壓力衰減監測儀，可以檢測任何明顯的壓力變化，並關閉工藝氣體入口，以減少危險泄漏的潛在風險。此外，壓力控制器確保反應器內工作壓力穩定，安全溫度控制器限制溫度波動。AIXTRON TS 19x2反應堆具有獨特的現代設計，使用戶可以輕松進入工藝室，並能夠快速設置單元。它還配備了先進的易於使用的圖形用戶界面，為用戶提供詳細的實時反饋和清晰的屏幕指令。此外,AIXTRON TS 19x2還具有遠程訪問設置和診斷機器,允許用戶從世界任何地方監視和調整沈積參數。總體而言，AIXTRON TS 19x2是一個可靠、安全的反應堆，設計符合半導體生產的最高質量標準。它具有多種安全特性，對工藝參數提供有效控制，同時還允許用戶遠程訪問和監控反應堆。由於其用戶友好的設計，AIXTRON TS 19x2反應堆可以在半導體生產中提供可靠高效的運行。