二手 AIXTRON TS CCSH30x2" #9386936 待售

AIXTRON TS CCSH30x2是一種常用的間歇反應器，非常適合薄膜的沈積。它能夠沈積不同厚度的層，具有良好的均勻性和受控的輪廓形狀。該反應堆也適用於各種應用，從濺射沈積到ALD（原子層沈積）不等。反應堆的設計包括單源射頻磁控管源、抗反射（AR）基板架和多陰極。每個晶片的腔室溫度可以在室溫到500°C以上的範圍內獨立調節。工藝溫度可通過射頻源精確控制，涵蓋範圍廣泛的任意操作點。腔內磁場的集中，即使在低溫下也允許異質結構的沈積。晶圓架是為平面和線基基板設計的，並且可以調整源的高度以容納不同的基板架。反應堆還配備了自動預配置系統，根據用戶定義的參數，能夠設定工藝條件，包括壓力、溫度、偏壓和渦輪分子泵速度。AIXTRON TS CCSH30x2是一種可靠、高效的間歇反應器，能夠沈積各種厚度的層。它的設計允許出色的均勻性和受控的輪廓形狀，具有靈活的工藝條件和寬廣的溫度範圍。該反應堆配有自動預配置系統，可快速方便地設置工藝參數，單源射頻磁控管源為異質結構的沈積提供了最大的靈活性。總體而言，AIXTRON TS CCSH30x2是各種應用的理想選擇，從濺射沈積到ALD。