二手 AIXTRON TS CCSH31x2" #9386612 待售

AIXTRON TS CCSH31x2是一種高溫化學蒸氣沈積（CVD）反應器，設計用於薄膜的高產生長。該反應堆采用AIXTRON專利的同心分離室（CSC）技術，為各種行業的CVD工藝提供了一種新穎而堅固的方法。TS CCSH31x2是一種水平配置的單晶片大氣壓反應器室，能夠生產均勻性好、沈積速率高、粒度控制好的薄膜。CSC設計能夠精確調制前體濃度，並且能夠形成比傳統方法更高質量的薄膜。反應堆的腔室由一個由擋板組件隔開的頂部和底部分離腔組成。頂室容納待處理的鋅-硒化物基材料，而底室容納加熱的碳化矽基加熱器塊。擋板組件保持所需的溫度,並有助於將工藝前體保持在較低的腔室中,從而確保更高質量的增長。TS CCSH31x2配備了先進的CSC功能，使用戶能夠精確控制工藝前體的流量和溫度。二次氣體輸送系統有助於減少活性氣的數量，提高能源效率，同時保持所需的工藝參數。此外,CSC系統可提供長達60分鐘的冷卻時間,從而縮短運行時間,減少設備磨損。AIXTRON TS CCSH31x2獨特的設計為CVD薄膜沈積提供了可靠且經濟實惠的解決方案,允許用戶為各種行業生產卓越的薄膜。該反應堆配備了復雜的CSC特性，能夠長時間保持所需的溫度和流量。此外，二次氣體輸送系統和最多60分鐘的冷卻時間等其他功能進一步優化了工藝，確保了更高質量的效果。