二手 AIXTRON TS CCSH31x2" #9386931 待售

AIXTRON TS CCSH31x2反應器是為功能性金屬氧化物（FMO）和基於介電氧化物的材料沈積而設計的多室等離子體沈積系統。利用先進的遠程等離子體源，實現了高質量、精密膜厚度的增長。此外,系統能夠同時使用批處理和內聯處理。AIXTRON TS CCSH31x2具有集成的單區電子回旋共振（ECR）等離子體源。這種ECR等離子體源可用於優化沈積，允許低能沈積，精確控制基質區域上粒子的能量和通量。ECR源還由微波發生器和外部磁場線圈組成，確保等離子體均勻均勻。AIXTRON TS CCSH31x2反應堆利用螺旋線圈加速和維持等離子體。反應堆還允許通過基板旋轉和基座運動快速、精確、可重復的層沈積。此外，AIXTRON TS CCSH31x2的炮塔設計允許最多四個基板裝載行和兩個沈積室。這允許對各種基材進行大的表面處理和頻繁的基材更換。AIXTRON TS CCSH31x2反應堆具有先進的過程控制和監控能力。它配備了反饋系統，以確保最佳的工藝再現性和精確度。它被配置為提供關於基板溫度、沈積速率和氣體壓力的反饋。這有助於提供工業過程所需的層狀沈積的精確度和精確度。此外，AIXTRON TS CCSH31x2反應堆有一個內置的安全聯鎖裝置，在蝕刻過程中註入惰性氣體時自動關閉腔室。AIXTRON TS CCSH31x2反應堆被設計成能在氧氣、氮氣、氙氣等多種典型用途的工藝氣體中工作。而且適合於表面的官能化和復雜金屬氧化物的沈積，如氧化錫氙（ITO）或氧化鋅（ZnO）。總體而言，AIXTRON TS CCSH31x2是一種多室等離子體沈積系統，設計用於功能性金屬氧化物和基於介電氧化物的材料沈積。它允許具有過程控制和監測能力的精確和均勻的等離子體沈積。它非常適合表面的功能化和復雜金屬氧化物的沈積。