二手 AIXTRON TS CCSH55x2" #9386947 待售

AIXTRON TS CCSH55x2是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，用於制造薄膜塗層和器件。它是一個200毫米寬、85毫米長的槽式反應堆，用於生產納米厚的器件，包括一個集成的加熱元件。該設備的運作方式是在受控溫度和大氣壓下，一次處理單個半導體材料，或者在單相中，或者作為一系列多相。AIXTRON TS CCSH55x2的主要部件是加工室、CVD反應堆頭和氣體輸送系統。加工室是由不銹鋼制成的密封外殼，營造出均勻的溫度環境，防止空氣汙染。CVD反應堆頭含有加熱元件，用於加熱晶圓，均勻加熱反應物。它還裝有石英窗，讓紅外輻射進入加工室，同時仍然保護半導體材料免受灰塵和有害的紫外線輻射。氣體輸送裝置負責以精確控制的量和精確控制的速度將反應物輸送到加工室。AIXTRON TS CCSH55x2內置了多項安全功能,以確保用戶的安全。機器包括壓力和溫度安全閥的組合，限制溫度和壓力的增加，以及在工具或腔室發生故障時緊急關閉按鈕。反應堆還在加工室周圍有真空絕緣層，使任何有害物質進入工作環境的可能性降至最低。AIXTRON TS CCSH55x2還擁有廣泛的高級功能。這包括使用圖形用戶界面，允許用戶與CVD反應堆直接讀取和通信。這有助於通過提供有關資產設置的實時反饋來防止錯誤。CVD反應器還具有多種可調參數，使用戶能夠靈活和精確地生產高質量的薄膜塗層。AIXTRON TS CCSH55x2是一系列應用的理想選擇,包括半導體沈積、塗層薄膜、整體集成和創建半導體器件組件。該反應堆提供了最新的技術和卓越的性能，使其成為一個可靠的工具，生產材料精確，均勻的層，在一系列的基材尺寸。