二手 AIXTRON TS OCSH 31X2 #9181636 待售

AIXTRON TS OCSH 31X2是一種高精度的化學氣相沈積反應器，用於制造化合物半導體，如砷化氙（GaAs）。該機由多個部件組成，包括一個工藝室、淋浴敏感器、一個合約、一個壓力控制器、一個氣體控制設備和一個低壓射頻源。加工室是一個密封的金屬外殼，包含反應物和底物。該室設計用於保持真空，並確保反應物均勻分布。在室內，反應物被加熱到高達1000 °C的溫度，而敏感劑提供必要的熱量。腔室內的crucible容納反應物，並被淋浴加熱的敏感劑加熱。氣體控制系統通過噴嘴向腔室註入精確數量的反應物氣體，以提供所需的化學反應。低壓射頻源用於激發反應物，在基板上生成均勻的塗層。壓力控制器用於調節腔內壓力，以確保反應物均勻分布，防止過早反應。腔室保持溫度和受控壓力允許精確和可重復的過程與最小的過程變化。因此,TS OCSH 31X2能夠生產高質量、可重復和經濟高效的設備。此外,AIXTRON TS OCSH 31X2還配備了多種安全功能。它包括一個自動快門單元，防止紫外線在反應性過程中進入機器，此外還有一個緊急停止工具，在出事時停止整個過程。它還具有各種傳感器，用於監測腔內的溫度、壓力和反應物氣體，提供額外的一層安全和精度。TS OCSH 31X2是生產復合半導體的先進工具。憑借其強大的熱源和壓源組合、精確的氣體控制以及自動化的安全特性，它可以提供統一且可重復的結果，並具有最小的工藝變化。它是生產LED、激光和太陽能電池等GaAs設備的寶貴工具。